国产代替浪潮下多个细分范畴设备国产化率继续上升，其间去胶设备的国产率已达90%以上。

  本文，咱们将从我国大陆半导体设备企业的2022年成果及专利状况、各细分范畴国产化率、当下的机会和应战等方面收拾国内半导体设备企业的实在成果与距离。

  到2023年2月1日，近100家半导体工业相关公司发布了2022年成果预告，其间半数以上企业完成了净利润同比添加，且多为设备和资料类的半导体上市公司。增速大于100%的公司中就有拓荆科技、芯源微、华海清科、长川科技、北方华创等多家半导体设备公司。

  据悉，已发布的12家半导体设备公司2022年成果预告均完成正添加。以添加下限核算，添加超1倍的有6家，9家添加下限均超30%。最为亮眼的拓荆科技成果预告显现，估计公司2022年年度完成归归于母公司所有者的净利润与上年同期相比添加381.85%至484.06%。

  拓荆科技在公告中表明，成果较上年同期大幅添加的首要原因是获益于国内半导体职业杰出的开展态势，国内半导体职业设备需求添加，该公司加大了产品研制投入，产品结构不断优化，产品竞赛力继续增强，进一步拓宽客户集体，本年出售订单大幅添加，经营收入坚持高添加趋势。

  据了解，到2022Q3末，11家半导体设备企业存货和合同负债别离到达133和284亿元，别离同比添加69%和76%，到达前史最高点，验证在手订单丰满。考虑到已有订单撤销概率不大，跟着相关订单连续交给，2022Q4和2023年职业成果高添加有较强确定性。

  专利实力往往是企业技能创新水准与商场话语权的重要表现，国内半导体设备企业对其间心技能进行全面的专利布局，能够在该范畴占有更有利的竞赛位置。

  *以上核算数据到2022年9月30日，来历IncoPat专利数据库，原表由爱集微收拾

  从榜单中能够看出，北方华创、上海微电子和中科院光电所技能创新优势显着，位列前三位。作为半导体设备职业龙头，它们也是当时设备范畴国产代替的主力军。北方华创一向致力于出产薄膜堆积、刻蚀两种中心工艺设备。上海微电子以光刻设备研制为中心，其专利布局首要集中于光刻机、工件台、丈量设备、投影物镜、预对准等专业技能范畴。

  现在，工业链上下流企业都在测验攻关半导体中心设备，如上海微电子、中微半导体、北方华创等在测验打破一些高端设备，其间北方华创刻蚀设备已使用于7纳米和5纳米出产线；中微半导体刻蚀机现已到达5nm水平，并使用于台积电产线。但先进设备研制难度很高，国内厂商仍负重致远。

  依据SIA数据核算，全球半导体设备大致能够分为11大类，50多种机型。前道设备用于晶圆制作进程，掩盖从光片到晶圆的成百上千道工序，首要有光刻机、刻蚀机、薄膜堆积机、离子注入机、CMP设备、清洗机、前道检测设备和氧化退火设备八大类，前道设备占有了整个商场的80%～85%，其间光刻机、刻蚀机和薄膜设备是价值量最大的三大环节，各自所占的商场规划均到达了前道设备总量的20%以上；后道设备首要分为测验设备和封装设备。

  现在，全球前5多半导体设备厂商均归于前道设备的使用厂商，别离为使用资料、ASML、东京电子、泛林半导体、柯磊，其间3家渠道型横跨刻蚀，薄膜，清洗，离子注入等多个范畴。排名前10的厂商中5家日本公司，4家美国公司，1家荷兰公司，寡头格式显着。

  2021年国内半导体设备商场规划同比添加58.23%，以296.2亿美元出售金额坚持全球半导体设备榜首大商场，估计2023年我国大陆半导体商场规划将达3032亿元，添加势头微弱。

  依据SEMI数据显现，2022年我国晶圆厂商半导体设备国产化率较2021年显着提高，从21%提高至35%。国产半导体设备公司通过多年的技能攻关以及国家方针支撑，现在能满意下流晶圆厂商大部分老练制程（28nm及以上的逻辑芯片等）以及少部分先进制程的需求。

  现在在28nm及以上的逻辑芯片、128层以下的NAND存储芯片以及20nm以上的DRAM芯片的首要设备中，国产设备在刻蚀、薄膜堆积、清洗、涂胶显影等大部分都能够进行代替。特别是检测设备代替速度较快。去胶设备国产采用率已达91%

  虽然国内半导体设备根本脱节彻底受制于人的局势，但国内设备厂商现在依然仅仅“点”的打破，没有完成“面”的遍及，缺少成套设备的供给，设备的精度也不行，只能满意中低端芯片的出产，难以打入高端芯片出产线。特别是光刻机等“卡脖子”的关键设备研制没有有显着发展，上海微电子是我国仅有可量产光刻机的企业，其90nm DUV光刻机在2016年现已通过检验，但45nm、28nm光刻机仍在研制进程中没有量产，亟待打破。

  从上文的各项数据来看，全球半导体设备商场简直被美日荷所独占，中心设备如光刻、刻蚀、PVD、CVD、氧化/分散等设备的Top3市占率遍及在90%以上。除技能距离及美国的约束外，国内涵出资、人才、商场竞赛等方面都面对极大应战。

  不过好的一点是，我国半导体设备商场规划扩展继续提速，近五年职业规划复合增速高达35%。跟着下流晶圆厂订单和验证功率的提高，估计2022～2025将是半导体国产设备的放量期，高增速有望连续，这对半导体设备国产化进程而言必然是有利的。一起，封闭之下的国产设备企业必然也会迎来更快速的生长。

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